🎗中国首台2.5D/3D先进封装光刻机正式交付客户

本次制造商为上海微电子装备集团，交付设备可制造 90nm、110nm、280nm 关键层和非关键层的光刻工艺需求，该设备可用于 8吋线或 12 吋线的大规模工业生产。

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