前ASML科学家林楠助力中国EUV技术获突破

中国科学院上海光机所林楠团队在EUV光源技术上取得进展，其研究成果表明，他们已建成一个在国际上具有竞争力的EUV光源平台。该平台采用固态激光驱动等离子体（LPP）EUV光源技术，帮助突破中国在先进芯片制造领域的技术瓶颈。与ASML使用的CO2激光技术不同，该团队采用固态激光方案，并实现了3.42%的最大转换效率，虽与部分国际领先水平仍有差距，但已超过部分研究机构的记录。

南华早报

📮投稿 ☘️频道 🌸聊天